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发布日期:2021年08月03日

BOMBVS系列直流叠加脉冲偏压电源

BOMBVS系列直流叠加脉冲偏压电源

规格参数

BOMB VS系列直流叠加脉冲偏压电源技术规格

BOMB VS系列偏压电源工作于二级高频变换模式,有单极脉冲、直流叠加脉冲、低压直流三种输出方式,主电源电压、副电源电压、脉冲宽度独立调整。灵活的输出方式适用于工具膜、装饰膜以及工艺开发等多种应用环境,特别是直流叠加脉冲的方式,在控制工件温度的同时,本底直流电压有效维持了偏压的连续状态,对工具镀膜十分有利。

电源功率范围

10-80kW [不包括副电源]

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

脉冲/ 直流叠加脉冲/低压直流

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输出电压

0-180V 0-500V 0-1000V [主电源,脉冲输出时为峰值电压]

脉冲频率

40kHz

脉冲百分比

10-90%连续调节

a副电源功率

6kW/12kW

a 副电源输出电压

DC0-100V

灭弧时间

≤3μs

输出电压稳定率

主电源5% 副电源1%

冷却方式

10-50kW风冷60-80kW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

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清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

技术支持

方便、快捷、周到的全程服务

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